光刻机用LPP光源相关专利，我们长光所搞的是第一代，已经出了工程样机，上光所搞的是第二代。不要以为这些突破是放卫星，突然冒出来的。这些技术路线我们一直在做，长的有十几二十年的积累了。
Copyright 版权所有- 电竞网
